Вакуумные насосы
Блоки питания
Вакуумметры
Вакуумные затворы
Ваккумные клапаны
Вакуумное оборудование
Вакуумные камеры
Вакуумные насосы
Фильтр
Соединительный фланец «ОСТ160»
Наибольшая быстрота действия «250 л/с»
Предельное остаточное давление « 5*10-9 Па»
Соединительный фланец «CF63»
Наибольшая быстрота действия по водороду «300 л/с»
Соединительный фланец «ОСТ160»
Наибольшая быстрота действия «200 л/с»
Предельное остаточное давление « 5*10-9 Па»
Соединительный фланец «CF100»
Наибольшая быстрота действия по водороду «1300 л/с»
Соединительный фланец «CF35»
Наибольшая быстрота действия «60 л/с»
Предельное остаточное давление « 5*10-9 Па»
Магниторазрядный насос: решение для сверхвысокого вакуума
Современные высокотехнологичные производства и научные исследования требуют создания и поддержания глубокого вакуума. Когда механические агрегаты достигают своего предела, в работу вступает более совершенное оборудование – ионный вакуумный насос. Особое место среди них занимает магниторазрядный насос, чья работа основана на физике плазмы.
Принцип действия магниторазрядного насоса
Принцип действия этого аппарата заключается в ионизации молекул газа в скрещенных электрических и магнитных полях. Ионизированные частицы бомбардируют титановый катод, который, в свою очередь, распыляется, захватывая и связывая активный газ. Данная система обеспечивает исключительно высокую эффективность и чистоту процесса. Ключевой параметр для пользователя – производительность устройства по различным газам, которая определяет скорость откачки и конечное давление в системе.
По принципу действия выделяют два типа магниторазрядных (ионно - геттерных) насосов:
• диодные магниторазрядные насосы;
• триодные магниторазрядные насосы.
Насосы с нераспыляемым газопоглотителем (ННГ)
Отдельную категорию составляют насосы с нераспыляемым газопоглотителем (ННГ), которые используют геттерные материалы для химического связывания газов. Эти насосы отличаются высокой производительностью по активным газам, особенно водороду, и работают бесшумно благодаря отсутствию движущихся частей. Для их питания требуются специальные блоки, обеспечивающие регулирование температуры нагревателя по заданной программе.
Сублимационные насосы
Отдельно стоит отметить сублимационные насосы, использующие титановые испарители. При нагреве титан сублимируется и осаждается на охлаждаемых поверхностях, образуя активную пленку, которая эффективно поглощает газы. Такие насосы обеспечивают высокую скорость откачки активных газов и часто используются в комбинации с другими типами высоковакуумных насосов. Их главная особенность – высокие скорости откачки на сверхвысоком вакууме.
Комбинированные насосы
Так же линейка высокопроизводительных ионных насосов компании «Оптикон» хорошо дополнена комбинированными насосами, сочетающие диодные (триодные) и насосы с нераспыляемыми газопоглотителями, благодаря чему имеют лучшие массовые характеристики и скорость откачки.
Преимущества и особенности применения
Магниторазрядный насос демонстрирует высокую эффективность при откачке активных газов, а современные системы управления позволяют оптимизировать процесс откачки. Цена оборудования зависит от его производительности и конструктивных особенностей. Правильно подобранный тип насоса обеспечит стабильное давление в системе.